Deeltjesdepositie Meting bij het Einstein Telescoop Project
In 2023 voltooide onze stagiair Youri Hissink, destijds student aan Fontys, een stage gericht op de monitoring van deeltjesdepositie – een cruciaal aspect voor het handhaven van cleanroomstandaarden. Namens SAC gebruikte Youri de PDM om deeltjesophoping te meten in de cleanroom van het Einstein Telescoop Project. Door verschillende locaties en activiteiten te evalueren, verzamelde hij essentiële data om zones met hoge contaminatie en kritische activiteiten in kaart te brengen, evenals de effectiviteit van bestaande tegenmaatregelen. Deze case study toonde niet alleen de precisie van onze PDM aan, maar leverde ook waardevolle inzichten op die bijdragen aan de strenge eisen van geavanceerde cleanroomomgevingen zoals het ETP. Hieronder vindt u het abstract van het artikel!
De neerslag van deeltjes in cleanrooms is een cruciale zorg voor het handhaven van ultra-schone omstandigheden. Dit onderzoek onderzoekt verschillende aspecten van deeltjesneerslag, met als doel ons begrip van contaminatiebeheersing in cleanroomomgevingen te verbeteren. Het onderzoek evalueert de precisie van metingen met de Particle Deposition Monitor (PDM) en constateert dat de PDM uiterst nauwkeurige metingen levert, met name in schone omgevingen met minimale deeltjestellingen. Basistarieven voor de neerslag van deeltjes worden beoordeeld op verschillende locaties in cleanrooms. Het onderzoek onthult dat kleinere deeltjes de neerslag domineren, en er is een opmerkelijk verschil in neerslagtarieven tussen de horizontale en verticale vlakken. Tijdens periodes van typische activiteit nemen de neerslagtarieven van deeltjes aanzienlijk toe, waarbij vezels, waarschijnlijk afkomstig van personen, prominent aanwezig zijn. Het onderzoek identificeert de vervanging van luchtfilters en het openen van plafonds als belangrijke bronnen van contaminatie. De prestaties van apparatuur worden ge¨evalueerd, waarbij de luchtdouche een hoge doeltreffendheid vertoont in het verwijderen van deeltjes die vrijkomen uit kleding, met name grotere deeltjes. Analyse van de morfologie en oorsprong van deeltjes onthult dat de meerderheid van de ontdekte vezels plantaardig is, voornamelijk katoen. Glasvezels, identificeerbaar aan een breedte van 7 μm, worden verondersteld afkomstig te zijn van schoonmaakgereedschap. Opmerkelijk is dat het plafond in de cleaning area een aanzienlijke invloed heeft op neerslagtarieven, met een gemiddeld neerslagtarief dat 87% hoger is dan in de main experiment area.